氧化锆分析仪的内阻是检测氧化锆锆管性能的指标之一，新锆头在700度时应该为80Ω以下，越小越好，相反，旧锆头的内阻超过80Ω是不能用的。注意在现场测量时须拧开标气丝堵，看到氧电势接近为0，可用表电阻档测量。如果锆头是存在氧电势的状态，可以用电阻箱连接氧电势输出端，慢慢调节电阻，使输出在氧量变送器上显示的氧电势数值只是原来的一半，在电阻箱上读出的电阻值就是锆头的内阻。
在氧量变送器上显示出氧电势读数过大：如果将锆头上标气孔丝堵螺栓拧开，氧电势的读数很快下降到0左右，再用测量锆头内阻的方法判断。如果锆头的内阻足够小，就可以说明此时锆头的测量功能是准确的。理由是：锆头测得的氧量趋向变小时氧电势变大，而氧量接近为零的时候，氧电势就变成为无穷大了。在氧量变送器上显示出氧电势读数过小：一般来看须采用锆头内阻测量的方法首先判断。如果氧化锆分析仪的内阻值变大，就是锆头存在故障，内阻值达到800Ω以上是需要更换锆头的，另外一种情况就是锆头存在漏气故障了。
仪表数据显示工作不正常而对锆头进行样气标定检查不能判断故障：在现场,通过样气标定锆头的检测方法,可以发现锆头和变送器上的一些故障问题，但是也会由于条件限制造成不能判断的现象。氧化锆锆管如果没有损坏,一般都能用样气标定出正确的仪表读数来,例如轻微的漏气问题因为你没用采用足够的压力时间检查而疏忽;例如现场样气输入的气流过大降低了被测温度不能反映实际状况等，氧化锆分析仪这就需要结合更完整的方法进行检测判断了，好的办法是采用抽气式标准仪表检测对照了。
无论在哪种状态下，不管是停炉检修还是短时间停止锅炉运行，都要能保持锆头有一定的正常工作温度，杜绝频繁冷却或骤然的高温变化，这是保证ZO系列恒温加热式氧化锆氧量分析仪的安全运行保证。
