(1)、氧化锆探头的拆卸：
①、切断在线氧化锆分析仪的电源，拆开氧化锆分析仪之间的接线。
②、可以用一定的流速的参比气或者量程气体，可以持续对氧化锆探头进行吹扫，从而使氧化锆探头缓慢的降温，避免骤冷导致氧化锆锆管的断裂。
③、待氧化锆探头降至常温后，可以降气源关断，拆开氧化锆探头的参比气、标准气及空气 喷射器气源的管路接口，然后拆开氧化锆探头法兰及螺母，将氧化锆探头及空气喷射器和取样管一并取出。
(2)、氧化锆探头检修：
①、拆开氧化锆探头顶部的螺栓，取下过滤器及导管和拧下检测器顶端的四颗安装螺栓，取下过滤器组件及U形标准气导管，轻轻旋出锆管，取样金属O形圈及环状接触器。
②、氧化锆探头长期会积灰、积尘，特别内壁上级锆管上黏附有油污，可以用毛刷或清洁、干燥的压缩空气清除，也可以用有机溶剂浸泡、清洗，然后烘干处理，检测氧化锆锆管有无破损或者断裂等情况，如果锆管损坏就需要更换新的锆管。
③、用压缩空气对孔道进行吹扫，将其异物清除，也可以用细丝对其疏通，一般钢丝不能超过400mm。
④、清除过滤器异物，首先要检查的是过滤器有无破损等现象，如果有必要就要更换过滤网。
⑤、检查加热电炉是否短路与断路，可以用万用表对其加热炉进行检测。
⑥、检查加热炉的热电偶，并对其进行标定。
⑦、检查环状接触器有无变形、锈蚀和破损状况，如变形则进行修复，破损则需更换。
(3)、氧化锆探头的重新安装与调试：
①、将接触器准确无误的放在氧化锆探头的沟槽中，注意要平稳放置。
②、将氧化锆锆管有序的旋入探头中。
③、将U形标准气导管装入过滤器组件，与过滤网一起装在检测器上，注意标准气导管要对准锆管的中心。
④、对准安装孔，均匀的紧固，可以加装密封垫，不能出现漏气状况。
⑤、对锆管进行检漏处理，将氧化锆探头出气口堵住，然后用0.1MPA的空气从进气口通入，一般进行5分钟无泄漏，如果有漏气现象则要更换锆管。
(4)、氧化锆探头的取样管检修：
首先先从外观观察有无破损及氧化，如果有此现象则需要更换取样管，另外还要检查有无堵塞，可以采用细丝或者机械方法疏通，清楚管内的异物。
(5)、喷射器的检修：
首先解体喷射器，然后清楚异物，可以用有机溶剂处理，然后重装进行测试。
(6)、分析仪的放大器的检修：
检查电路有无过热、损坏及异常现象出现，电子线路接口的损坏或者出现玷污、氧化腐蚀情况，导致接触不良等现象，清楚电子线路上的积尘，确保电子线路接触良好，正常运行，更换损坏的显示器等元件。
(7)、分析仪的投运：
①、对于检修后的氧分析仪，进行重新调试，对所有线路及配管进行全面检测，有无漏气、接触良好、接线是否正确等。
②、给氧分析仪送电后，确认氧化锆探头升温过程正常，通常设定恒温在700度。
③、将参比空气调至规定的流量值，将空气喷射器的供气调至规定压力值。
④、将选择合适分析仪的量程，通常为0-25%，对应输出4-20mA。当分析仪的温度达到恒温温度时(分析仪内部自带温度补偿功能)，分析仪自动进入测量状态。
